22ET|1|M|DG|1 ns33 22ET|1|M|DA|59 22ET|1|M|DG|1 s35 22ET|1|M|DG|2 22ET|1|M|DG|2 s35 22ET|1|M|DA|58 22ET|1|M|DG|2 s53 22ET|1|M|DG|1 22ET|1|M|DA|3 s35 22ET|1|M|DA|4 22ET|1|M|DA|3 s55 22ET|1|M|DA|59 22ET|1|M|DA|4 s35 22ET|1|M|DG|5 22ET|1|M|DA|4 s53 22ET|1|M|DA|3 22ET|1|M|DA|4 ns33 22ET|1|M|DC|57 22ET|1|M|DG|5 s53 22ET|1|M|DA|4 22ET|1|M|DG|5 ns33 22ET|1|M|DG|56 22ET|1|M|DG|5 s33 22ET|1|M|DC|6 22ET|1|M|DC|6 s55 22ET|1|M|DG|7 22ET|1|M|DC|6 s33 22ET|1|M|DG|5 22ET|1|M|DG|7 s55 22ET|1|M|DG|56 22ET|1|M|DG|7 s55 22ET|1|M|DC|6 22ET|1|M|DG|7 s35 22ET|1|M|DA|8 22ET|1|M|DA|8 s35 22ET|1|M|DA|9 22ET|1|M|DA|8 s53 22ET|1|M|DG|7 22ET|1|M|DA|9 s35 22ET|1|M|DA|10 22ET|1|M|DA|9 s53 22ET|1|M|DA|8 22ET|1|M|DA|10 s35 22ET|1|M|DG|11 22ET|1|M|DA|10 s53 22ET|1|M|DA|9 22ET|1|M|DG|11 s35 22ET|1|M|DT|12 22ET|1|M|DG|11 s53 22ET|1|M|DA|10 22ET|1|M|DG|11 s55 22ET|1|M|DT|52 22ET|1|M|DT|12 s33 22ET|1|M|DG|13 22ET|1|M|DT|12 s53 22ET|1|M|DG|11 22ET|1|M|DG|13 s55 22ET|1|M|DT|14 22ET|1|M|DG|13 s35 22ET|1|M|DA|50 22ET|1|M|DG|13 s33 22ET|1|M|DT|12 22ET|1|M|DG|13 ns53 22ET|1|M|DA|48 22ET|1|M|DT|14 s33 22ET|1|M|DC|15 22ET|1|M|DT|14 s55 22ET|1|M|DG|13 22ET|1|M|DC|15 s33 22ET|1|M|DT|14 22ET|1|M|DC|15 s55 22ET|1|M|DG|16 22ET|1|M|DG|16 s55 22ET|1|M|DC|15 22ET|1|M|DG|16 s55 22ET|1|M|DG|47 22ET|1|M|DG|16 s35 22ET|1|M|DC|17 22ET|1|M|DC|17 s53 22ET|1|M|DG|16 22ET|1|M|DC|17 s35 22ET|1|M|DA|18 22ET|1|M|DA|18 s53 22ET|1|M|DC|17 22ET|1|M|DA|18 s55 22ET|1|M|DG|45 22ET|1|M|DA|18 s35 22ET|1|M|DA|19 22ET|1|M|DA|19 s53 22ET|1|M|DA|18 22ET|1|M|DA|19 s35 22ET|1|M|DC|20 22ET|1|M|DC|20 s35 22ET|1|M|DC|21 22ET|1|M|DC|20 s53 22ET|1|M|DA|19 22ET|1|M|DC|21 s35 22ET|1|M|DT|22 22ET|1|M|DC|21 s53 22ET|1|M|DC|20 22ET|1|M|DT|22 s35 22ET|1|M|DG|23 22ET|1|M|DT|22 s53 22ET|1|M|DC|21 22ET|1|M|DG|23 s33 22ET|1|M|DG|38 22ET|1|M|DG|23 s53 22ET|1|M|DT|22 22ET|1|M|DG|23 s35 22ET|1|M|DA|24 22ET|1|M|DA|24 ns35 22ET|1|M|DG|26 22ET|1|M|DA|24 s53 22ET|1|M|DG|23 22ET|1|M|DA|24 s33 22ET|1|M|DT|37 22ET|1|M|DG|25 s35 22ET|1|M|DG|26 22ET|1|M|DG|25 s55 22ET|1|M|DA|39 22ET|1|M|DG|26 s53 22ET|1|M|DG|25 22ET|1|M|DG|26 ns53 22ET|1|M|DA|24 22ET|1|M|DG|26 s35 22ET|1|M|DG|27 22ET|1|M|DG|27 ns33 22ET|1|M|DG|36 22ET|1|M|DG|27 s35 22ET|1|M|DA|28 22ET|1|M|DG|27 s53 22ET|1|M|DG|26 22ET|1|M|DA|28 s53 22ET|1|M|DG|27 22ET|1|M|DA|28 s35 22ET|1|M|DG|34 22ET|1|M|DG|29 ns33 22ET|1|M|DG|30 22ET|1|M|DG|29 s55 22ET|1|M|DA|35 22ET|1|M|DG|30 s53 22ET|1|M|DA|31 22ET|1|M|DG|30 ns33 22ET|1|M|DG|29 22ET|1|M|DA|31 s35 22ET|1|M|DG|30 22ET|1|M|DA|32 s35 22ET|1|M|DC|33 22ET|1|M|DC|33 s33 22ET|1|M|DG|34 22ET|1|M|DC|33 s53 22ET|1|M|DA|32 22ET|1|M|DG|34 s53 22ET|1|M|DA|28 22ET|1|M|DG|34 s33 22ET|1|M|DC|33 22ET|1|M|DA|35 s55 22ET|1|M|DG|29 22ET|1|M|DA|35 s35 22ET|1|M|DG|36 22ET|1|M|DG|36 s53 22ET|1|M|DA|35 22ET|1|M|DG|36 ns33 22ET|1|M|DG|27 22ET|1|M|DG|36 s35 22ET|1|M|DT|37 22ET|1|M|DT|37 s53 22ET|1|M|DG|36 22ET|1|M|DT|37 ns35 22ET|1|M|DG|38 22ET|1|M|DT|37 s33 22ET|1|M|DA|24 22ET|1|M|DG|38 s33 22ET|1|M|DG|23 22ET|1|M|DG|38 ns53 22ET|1|M|DT|37 22ET|1|M|DA|39 s35 22ET|1|M|DG|40 22ET|1|M|DA|39 s55 22ET|1|M|DG|25 22ET|1|M|DG|40 s53 22ET|1|M|DA|39 22ET|1|M|DG|40 s35 22ET|1|M|DG|41 22ET|1|M|DG|41 s33 22ET|1|M|DG|42 22ET|1|M|DG|41 s53 22ET|1|M|DG|40 22ET|1|M|DG|42 s33 22ET|1|M|DG|41 22ET|1|M|DG|42 s55 22ET|1|M|DT|43 22ET|1|M|DT|43 s35 22ET|1|M|DT|44 22ET|1|M|DT|43 s55 22ET|1|M|DG|42 22ET|1|M|DT|44 s35 22ET|1|M|DG|45 22ET|1|M|DT|44 s53 22ET|1|M|DT|43 22ET|1|M|DG|45 s55 22ET|1|M|DA|18 22ET|1|M|DG|45 s53 22ET|1|M|DT|44 22ET|1|M|DG|45 s35 22ET|1|M|DC|46 22ET|1|M|DC|46 s53 22ET|1|M|DG|45 22ET|1|M|DC|46 s35 22ET|1|M|DG|47 22ET|1|M|DG|47 s55 22ET|1|M|DG|16 22ET|1|M|DG|47 s53 22ET|1|M|DC|46 22ET|1|M|DG|47 s35 22ET|1|M|DA|48 22ET|1|M|DA|48 ns35 22ET|1|M|DG|13 22ET|1|M|DA|48 s53 22ET|1|M|DG|47 22ET|1|M|DA|48 s35 22ET|1|M|DC|49 22ET|1|M|DC|49 s53 22ET|1|M|DA|48 22ET|1|M|DC|49 s35 22ET|1|M|DA|50 22ET|1|M|DA|50 s53 22ET|1|M|DG|13 22ET|1|M|DA|50 s35 22ET|1|M|DC|51 22ET|1|M|DA|50 s53 22ET|1|M|DC|49 22ET|1|M|DC|51 s35 22ET|1|M|DT|52 22ET|1|M|DC|51 s53 22ET|1|M|DA|50 22ET|1|M|DT|52 s35 22ET|1|M|DT|53 22ET|1|M|DT|52 s53 22ET|1|M|DC|51 22ET|1|M|DT|52 s55 22ET|1|M|DG|11 22ET|1|M|DT|53 s53 22ET|1|M|DT|52 22ET|1|M|DT|53 s35 22ET|1|M|DT|54 22ET|1|M|DT|54 s53 22ET|1|M|DT|53 22ET|1|M|DT|54 s35 22ET|1|M|DC|55 22ET|1|M|DC|55 s35 22ET|1|M|DG|56 22ET|1|M|DC|55 s53 22ET|1|M|DT|54 22ET|1|M|DG|56 s55 22ET|1|M|DG|7 22ET|1|M|DG|56 s53 22ET|1|M|DC|55 22ET|1|M|DG|56 ns33 22ET|1|M|DG|5 22ET|1|M|DG|56 s35 22ET|1|M|DC|57 22ET|1|M|DC|57 s33 22ET|1|M|DA|58 22ET|1|M|DC|57 ns33 22ET|1|M|DA|4 22ET|1|M|DC|57 s53 22ET|1|M|DG|56 22ET|1|M|DA|58 s33 22ET|1|M|DC|57 22ET|1|M|DA|58 s53 22ET|1|M|DG|2 22ET|1|M|DA|59 ns33 22ET|1|M|DG|1 22ET|1|M|DA|59 s33 22ET|1|M|DC|60 22ET|1|M|DA|59 s55 22ET|1|M|DA|3 22ET|1|M|DC|60 ns55 22ET|1|M|DC|61 22ET|1|M|DC|60 s33 22ET|1|M|DA|59 22ET|1|M|DC|61 ns55 22ET|1|M|DC|60 22ET|1|M|DT|63 s53 22ET|1|M|DA|64 22ET|1|M|DA|64 s35 22ET|1|M|DT|63 22ET|1|M|DA|65 s35 22ET|1|M|DA|66 22ET|1|M|DA|66 s53 22ET|1|M|DA|65 22ET|1|M|DA|66 ns55 22ET|1|N|U|34 22ET|1|M|DA|66 s35 22ET|1|M|DT|67 22ET|1|M|DT|67 s53 22ET|1|M|DA|66 22ET|1|M|DA|68 s35 22ET|1|M|DC|69 22ET|1|M|DC|69 s35 22ET|1|M|DG|70 22ET|1|M|DC|69 s53 22ET|1|M|DA|68 22ET|1|M|DG|70 s35 22ET|1|M|DT|71 22ET|1|M|DG|70 s55 22ET|1|N|G|39 22ET|1|M|DG|70 s53 22ET|1|M|DC|69 22ET|1|M|DT|71 s53 22ET|1|M|DG|70 22ET|1|M|DT|71 ns33 22ET|1|M|DT|72 22ET|1|M|DT|72 ns33 22ET|1|M|DT|71 22ET|1|M|DT|72 s55 22ET|1|M|DC|73 22ET|1|M|DC|73 s55 22ET|1|M|DT|72 22ET|1|M|DC|73 s33 22ET|1|N|A|32 22ET|1|N|G|5 s33 22ET|1|N|U|6 22ET|1|N|G|5 s53 22ET|1|N|U|24 22ET|1|N|U|6 s33 22ET|1|N|G|5 22ET|1|N|U|6 s55 22ET|1|N|C|7 22ET|1|N|C|7 s55 22ET|1|N|U|6 22ET|1|N|C|7 ns55 22ET|1|N|A|22 22ET|1|N|C|7 s33 22ET|1|N|G|8 22ET|1|N|G|8 s35 22ET|1|N|G|21 22ET|1|N|G|8 s33 22ET|1|N|C|7 22ET|1|N|G|9 s35 22ET|1|N|G|10 22ET|1|N|G|9 s55 22ET|1|N|A|20 22ET|1|N|G|10 s53 22ET|1|N|G|9 22ET|1|N|G|10 s35 22ET|1|N|U|11 22ET|1|N|G|10 ns53 22ET|1|N|C|19 22ET|1|N|U|11 s35 22ET|1|N|G|12 22ET|1|N|U|11 s53 22ET|1|N|G|10 22ET|1|N|G|12 s53 22ET|1|N|U|11 22ET|1|N|G|12 s33 22ET|1|N|U|14 22ET|1|N|G|12 ns55 22ET|1|N|G|17 22ET|1|N|U|14 s33 22ET|1|N|G|12 22ET|1|N|A|16 s35 22ET|1|N|G|17 22ET|1|N|G|17 s33 22ET|1|N|C|18 22ET|1|N|G|17 ns55 22ET|1|N|G|12 22ET|1|N|G|17 s53 22ET|1|N|A|16 22ET|1|N|C|18 ns53 22ET|1|N|C|19 22ET|1|N|C|18 s33 22ET|1|N|G|17 22ET|1|N|C|19 ns35 22ET|1|N|C|18 22ET|1|N|C|19 ns35 22ET|1|N|G|10 22ET|1|N|C|19 s55 22ET|1|N|A|20 22ET|1|N|A|20 s55 22ET|1|N|C|19 22ET|1|N|A|20 s35 22ET|1|N|G|21 22ET|1|N|A|20 s55 22ET|1|N|G|9 22ET|1|N|G|21 s53 22ET|1|N|A|20 22ET|1|N|G|21 s53 22ET|1|N|G|8 22ET|1|N|G|21 s35 22ET|1|N|A|22 22ET|1|N|A|22 ns55 22ET|1|N|C|7 22ET|1|N|A|22 s35 22ET|1|N|C|23 22ET|1|N|A|22 s53 22ET|1|N|G|21 22ET|1|N|C|23 s53 22ET|1|N|A|22 22ET|1|N|C|23 s33 22ET|1|N|U|24 22ET|1|N|U|24 s35 22ET|1|N|G|5 22ET|1|N|U|24 s33 22ET|1|N|C|23 22ET|1|N|C|25 ns53 22ET|1|N|A|27 22ET|1|N|U|26 ns55 22ET|1|N|A|27 22ET|1|N|A|27 ns35 22ET|1|N|C|25 22ET|1|N|A|27 ns55 22ET|1|N|U|26 22ET|1|N|A|32 s33 22ET|1|M|DC|73 22ET|1|N|U|33 s35 22ET|1|N|G|35 22ET|1|N|U|34 ns55 22ET|1|M|DA|66 22ET|1|N|G|35 s35 22ET|1|N|A|36 22ET|1|N|G|35 s53 22ET|1|N|U|33 22ET|1|N|A|36 s35 22ET|1|N|A|37 22ET|1|N|A|36 s53 22ET|1|N|G|35 22ET|1|N|A|37 s53 22ET|1|N|A|36 22ET|1|N|A|37 s35 22ET|1|N|C|38 22ET|1|N|C|38 s53 22ET|1|N|A|37 22ET|1|N|C|38 ns35 22ET|1|N|G|39 22ET|1|N|G|39 s55 22ET|1|M|DG|70 22ET|1|N|G|39 ns53 22ET|1|N|C|38 22ET|1|N|G|39 s35 22ET|1|N|U|40 22ET|1|N|U|40 s53 22ET|1|N|G|39