3FO4|1|A|A|21 s3O2' 3FO4|1|A|U|22 3FO4|1|A|U|22 sO2'3 3FO4|1|A|A|21 3FO4|1|A|U|22 sO4'3 3FO4|1|A|A|23 3FO4|1|A|A|23 s3O4' 3FO4|1|A|U|22 3FO4|1|A|U|63 sO4'5 3FO4|1|A|A|64 3FO4|1|A|A|64 s5O4' 3FO4|1|A|U|63